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[SG12768] LAM A-Exelan Oxide Etcher 

물품번호
12768
카테고리
FAB / Etch
날짜
2010-07-19 17:33:19
시리얼 넘버
8684
생산년도
1998
웨이퍼 사이즈
8
구성
Exelan 3 Chamber (OXIDE) Magnatran 7(Brooks) ENI OB1-R03 27MHZ(1.8KW),2MHZ(2.5KW) OSAKA TC440-C
가격
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