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[SG15582] Ulvac Ceraus ZX1000 PVD 

물품번호
15582
카테고리
FAB / PVD
날짜
2016-05-04 16:56:04
시리얼 넘버
ME95-4503
생산년도
1995
웨이퍼 사이즈
8
구성
Reflow x 1, Ti/TiN x 1, Degas x1, Al x 2 Cryo Pump: Cryo-T8S w/ RS10Refrigerator x 2set; Cryo Pump: Cryo-T8PN w/ RS5Refrigerator x 2set Turbo Pump:TMP 202LM x1set
가격
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