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[SG19603] AMAT P5000 Poly Etch 

물품번호
19603
카테고리
FAB / Etch
날짜
2016-06-14 18:11:14
시리얼 넘버
P-6835
생산년도
1995
웨이퍼 사이즈
5
구성
x2 Mark II (Poly, Pedestal), Turbo Pump Seikoseiki 301 CB, No ORT(Option), ENI, Mark2 Chamber, ESC, No EPD No Major Missing Part Sub Module: 1 x Heat Exchanger, 1 x Chiller(Neslab-150), 1 x Transformer
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