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[SG21171] Ulvac ENTRON EX W300 PVD 

물품번호
21171
카테고리
FAB / PVD
날짜
2016-05-04 16:51:04
시리얼 넘버
Y005-0820-0
생산년도
2007
웨이퍼 사이즈
12
구성
EFEM/2VTM Core/1x NOR-Co ch./1x SIS-TTN ch./1x ALN-Degas/1x NOR-WSi ch./1x NOR-WWN ch. /2x Chiller
가격
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