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[SG21507] AMAT Centura 5200 W CVD 

물품번호
21507
카테고리
FAB / CVD
날짜
2013-03-27 20:29:27
시리얼 넘버
1010
생산년도
1996
웨이퍼 사이즈
8
구성
NBLL,3 x WxZ, 1x MC/D, HP Gas: #A,#B,#C N2(500sccm),H2(5SLM),SiH4(50sccm),WF6(60sccm),WF6(250sccm),NF3(200sccm),Ar(5SLM),Ar(1.5SLM),H2(500sccm)
가격
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