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[SG21517] TEL Alpha - 8SE LPCVD Poly Furnace 

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물품번호
21517
카테고리
FAB / Furnace
날짜
2013-01-25 10:07:25
시리얼 넘버
M00000445095
생산년도
2004
웨이퍼 사이즈
8
구성
(PH3 SiH4 N2) Options (1) Signal Tower (2) Pitch Change Mechanism (3) UPS (4) GEM Communication N2 Load Lock Ambient Control Option--1 Quartz ware Load size 170 wafers Load lock purge system Process gas SiH4 PH3 Gas Type
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