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[SG21519] TEL Alpha - 8SE Oxidation (FTPS Heater) 

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물품번호
21519
카테고리
FAB / Furnace
날짜
2013-01-25 10:10:25
시리얼 넘버
M00000395116
생산년도
2003
웨이퍼 사이즈
8
구성
Oxide Heater Type--VOS-40- 017 Power--110V Single Phase/ 400V 3-Phases Software Version--WAVES Ver3.11 R005 System consists : 1) Main-Body 2) Power-Box 3) UPS 4) Rapid Cooling Unit (RCU) 5) Water-Vapor Generator (WVG)
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