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[SG21533] KLA Tencor Viper 2401 (non pattern) 

물품번호
21533
카테고리
FAB / Metrology
날짜
2013-11-24 22:59:24
시리얼 넘버
2100120786
웨이퍼 사이즈
8
구성
- Macro Defect Inspection System - 80wph/200mm Throughput/Wafer - 50탆 sensitivity - Brightfield/Darkfield (Non)Patterned Inspection - Edge Exclusion down to 1mm - Dual cassette Brooks robot w/ pre-aligner - Windows NT OS
가격
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