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[SG21602] TEL Alpha-303i-K D-Poly 

물품번호
21602
카테고리
FAB / Furnace
날짜
2014-03-14 14:38:14
시리얼 넘버
L00000495243
생산년도
2004
웨이퍼 사이즈
12
구성
GFC(1%O2/Ar, SiH4, 1%PH3/Ar), Heater Model(Conventional / 5Zone), N2 Load Lock, Software Version(Waves), 1Boat, Temp Controller(M560A)
가격
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