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[SG22120] AMAT ULTIMA Plus 3 CH# CVD 

물품번호
22120
카테고리
FAB / CVD
날짜
2013-05-20 11:27:20
시리얼 넘버
402295
생산년도
2002
웨이퍼 사이즈
8
구성
NBLL,VHP Robot, 3Ch#(A,B,D),1 Orienter, 1 Cool, Edwards turbo(STP-A2203V), MKS RPS(AX7676), 3 Set RF Generator(ENI NOVA-50 X 2,GHW 50A/1 set), STI Process, HDD/FDD missing,
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