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[SG22134] Novellus VECTOR PECVD 

물품번호
22134
카테고리
FAB / CVD
날짜
2014-02-19 09:51:19
시리얼 넘버
03-10-C30219
생산년도
2003
웨이퍼 사이즈
12
구성
PE CVD , 2 Foup,HF Apex5513, LF PDX2500, MC3,MKS RPS(AX7645RH-10),New type spindle ass'y, SHi4/H2/Ar/N2/NH3/NF3/N2O,
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