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[SG22331] AMAT Enabler Oxide Etch Back 

물품번호
22331
카테고리
FAB / Etch
날짜
2016-10-28 11:28:28
시리얼 넘버
419333
생산년도
2009
웨이퍼 사이즈
12
구성
FI:3Ports, Yasakawa single moving Robot. 3 Chamber etcher, Centura AP, SHIMADZU turbo pump, Gas box up on the EFEM
가격
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