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[SG22848] KLA / Leica INS3000 Optical Review 

물품번호
22848
카테고리
FAB / Metrology
날짜
2015-06-22 10:40:22
시리얼 넘버
2276/731501
생산년도
2000
웨이퍼 사이즈
8
구성
8" Dual open cassette , 5x, 10x, 20x, 100x, 150x 1) The main body is disconnected from Utility(Power, Vac,Air) 2) Fail(Keypad fail, X/Y Stage Fail) Ceramic Arm Broken
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