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[SG24537] SEZ SEZ223 Wet Processing 

물품번호
24537
카테고리
FAB / WET
날짜
2015-08-13 16:44:13
시리얼 넘버
0512
생산년도
2001
웨이퍼 사이즈
6
구성
1. Software version:MU: 2.2.0.0 2.Chemistry Cabinets x2 - Cabinet # 1: HF 50% at 56// - Cabinet # 2. HNO3 65% and HF 50% MIX at 26 Both Cabinets was used for backside etching (film removal, oxide, poly)
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