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[SG28426] AMAT Centura Ultima X HDP 

물품번호
28426
카테고리
FAB / CVD
날짜
2016-05-02 21:56:02
시리얼 넘버
566614340
생산년도
2005
웨이퍼 사이즈
12
구성
FI: 2Ports, Kensington 2fixed robot. 2 x Ultima X Ch'(VAT Gate V/V, TMP-3203LMC-A1,RPC_AX7670-64 rev.c),RF Rack(Bias_AE Apex10k/13, Top&Side_AE HFV8000), SMC Chiller 2ea(INR-498-011C), Missing: 2 Loadport, TM Robot, AC Rack, FI Module Cover, Gas Box
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