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[SG28621] AMAT Centura Ultima X HDP 

물품번호
28621
카테고리
FAB / CVD
날짜
2016-05-02 21:52:02
시리얼 넘버
332041
웨이퍼 사이즈
12
구성
Process Chamber 1ea(TMP-3203LMC-A1, NC Gate V/V, RPC_AEp/n0190-08638) & SMC Chiller 4ea(INR-498-011C) Only. Missing: EFEM, Main Body, AC Rack,RF Rack, Gas Box
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