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[SG28798] AMAT Endura2 PVD 

물품번호
28798
카테고리
FAB / PVD
날짜
2016-10-24 16:53:24
시리얼 넘버
417843
생산년도
2008
웨이퍼 사이즈
12
구성
FI : 3Ports, Yasakawa single moving Robot. Endura2 MF w/ XP Robot, EFEM_Yaskawa FI Robot, Ch#1_IMP, Ch#3_PVD W, Ch#4_ PVD W, Ch#5_IMP
가격
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