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[SG28884] ASML PAS 5500/100D i-line Stepper 

물품번호
28884
카테고리
FAB / Stepper
날짜
2017-07-14 15:54:14
시리얼 넘버
5854
생산년도
1995
웨이퍼 사이즈
6
구성
kms tool history:Reticle Handler : RMS type Before shut down: Uniformity : 1.69(spec<1.5%). No bad condtion.
가격
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