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[SG28958] AMAT Centura DPS+ Metal 

물품번호
28958
카테고리
FAB / Etch
날짜
2016-10-19 10:10:19
시리얼 넘버
9545
생산년도
1997
웨이퍼 사이즈
8
구성
C1P2, NBLL, 2xDPS Plus, 2 x ASP plus, VHP , VME2(Gas Panel), 2 x TMP(STP-1303CV), 2 x Source Gen(GMW-25A), 2 x Bias Gen(ENI ACG 6B), Fast Cool Down Ch
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