R&D Foundry


RndFoundry Servies
  • 테스트 웨이퍼 제조부터 기술컨설팅까지 다양한 기술 서비스 제공
  • 반도체 양산라인 수준의 클린룸, 300mm 전용 공정, 계측, 분석 서비스 제공
  • 핵심품질항목의 기준점 제시, 핵심기술 진단 및 예측
  • 개발부터 양산기술 최적화까지 고객 맞춤형 서비스 제공

Manufacturing R&D Total Solution Provider

  • - Noncontact and Nondestructive Electrical Characterization of Thin Film Quality
    - Mechanism Understanding of Quality Excursion
    - Pre-screening and Path Finding of New Materials, New Equipment, New Processes
  • - Film Thickness, Warpage, Stress Evaluation
    - Particle Counting
    - Metal Contamination
    - Plasma Damage Monitoring
  • - DRAM, LOGIC, VNAND, CIS Technology Roadmap
    - Design of Experimentation
    - Substrate, Process, Device Engineering
    - Quality, Performance, Yield Improvement
  • - 300mm Unit or Module Process Service
    - Process Equipment for In-situ Monitoring System, Chamber Characterization, RGA, EPD, FDC, MFC, Sensor, Parts, Components Evaluation
    - Data Mining, Machine-learning Application Development
  • - R&D Local Fab for Alpha-tool Development
    - One-stop Tool Evaluation utilizing Thin Film Wafer and Thin Film Device Characterization
    - Demo Lab

기술 난제 해결을 위한 최적의 솔루션 제공

반도체 기술 발전

  • 복잡한 반도체 소자 구조
  • 공정 난이도 증가
  • 신소재, 신장비, 신공장 사용 비중 증가

성능 평가 문제점

  • 소요시간과 급격한 비용 증가
  • 소자에서의 품질인자 증가
  • 패터닝 공정이 소자 특성에 영향

R&D Foundry Services

  • Non-contact Electric Measurement System
  • Corona Charge 방식으로 다양한 제품 측정
  • 핵심 품질인자에 대한 통합적 분석 제공

기술 난제 해결을 위한 최적의 솔루션 제공

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